一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，包括防护箱，所述防护箱的顶部开设有两个放置腔体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有驱动器本体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有安装机构，所述安装机构包括开设在放置腔体底部且与驱动器本体底部相适配的限位凹槽，所述驱动器本体两侧的顶部均固定连接有固定块，所述放置腔体内腔两侧的顶部均开设有与固定块相适配的矩形凹槽。本实用新型通过安装机构的设置，对驱动器本体进行安装固定，随后通过防护箱和顶盖的配合使用，对驱动器本体进行存放保护，同时通过散热机构的设置，对驱动器本体产生的热量进行散发，即可达到可防护和散热效果好的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021411479.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
CN212367821U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
戴严淼
申请人 ：
深圳精技工业科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区观澜街道大富社区大富工业区20号硅谷动力智能终端产业园A15栋102
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
宫建华
优先权 ：
CN202021411479.5
主分类号 ：
H05K7/20
IPC分类号 ：
H05K7/20 H05K5/02 H02G3/04
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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