具有晶圆扫码对位装置的多工位点胶机
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有晶圆扫码对位装置的多工位点胶机，包括：上下料机构、至少四个点胶机和晶圆扫码对位装置。所述长下料机构形成为长条形以用于上下料，至少四个所述点胶机分别相对的设在所述上下料机构的两侧，每个所述点胶机分别对所述上下料机构输送的晶圆进行加工，所述晶圆扫码对位装置设于所述上下料机构的一侧，所述晶圆扫码对位装置对所述上下料机构输送的所述晶圆进行扫码和对位后由所述上下料机构输送至所述点胶机。该具有晶圆扫码对位装置的多工位点胶机具有结构紧凑、精确度高、节约大量人力物力等优点。
基本信息
专利标题 ：
具有晶圆扫码对位装置的多工位点胶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021419030.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
CN213223013U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
王晓春周典虬林翔郜福亮姜王敏
申请人 ：
常州铭赛机器人科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦
代理机构 ：
常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵旭
优先权 ：
CN202021419030.3
主分类号 ：
B05C5/02
IPC分类号 ：
B05C5/02 B05C13/02 B05C11/00 B05C9/14
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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