架台、端口接头套和架台系统
授权
摘要
本实用新型提供了一种架台、端口接头套和架台系统，所述架台具有可调面板，所述可调面板包括至少两组插孔机构，用于形成至少两种插孔序列，每组插孔机构包括第一定型板和第二定型板；第一定型板具有第一定型孔，第二定型板具有第二定型孔；第一定型板和第二定型板堆叠后，第一定型孔与第二定型孔叠合，以在可调面板上形成三个按序排列的插孔。所述端口接头套具有相对的头端和尾端，头端用于与第一种端口连接，尾端用于与第二种端口接头的一端连接，第二种端口接头的另一端与软管连接，所述架台系统包括所述架台和所述端口接头套，具有通用性，可适用至少两种光阻过滤器，且光阻过滤器更换的难度小，效率高，可在机台闲时更换，无需停机。
基本信息
专利标题 ：
架台、端口接头套和架台系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021422591.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
CN212541012U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
张光建
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN202021422591.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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