一种用于三维力探针传感器的接触探针
著录事项变更
摘要
本实用新型涉及半导体器件的测试领域，特别涉及一种用于三维力探针传感器的接触探针。接触探针整体由底座、探杆、底座和探杆之间的过渡圆台和探头组成，底座为一圆柱体，直立在传感器表面上，于传感器表面紧密相连；底座上段逐渐缩小呈圆台状，底座、探杆、和过渡圆台的材质均为钛合金；探杆顶端装有探头，探头用来与被测物接触，且探头由红宝石制成，以此使得该探针测量精度体高，使用寿命长，抗干扰能力增强。
基本信息
专利标题 ：
一种用于三维力探针传感器的接触探针
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021436757.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-21
授权号 ：
CN212621208U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
郭晨晨汪升森张赟
申请人 ：
明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司
申请人地址 ：
山东省烟台市经济技术开发区珠江路28号科技大厦1019-2室
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
潘剑敏
优先权 ：
CN202021436757.2
主分类号 ：
G01L1/22
IPC分类号 ：
G01L1/22 G01L1/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化；应用动力电池，即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
G01L1/22
利用电阻应变仪
法律状态
2021-03-26 ：
著录事项变更
IPC(主分类) : G01L 1/22
变更事项 : 发明人
变更前 : 郭晨晨 汪升森 张赟
变更后 : 孙立勇 林启敬 张赟
变更事项 : 发明人
变更前 : 郭晨晨 汪升森 张赟
变更后 : 孙立勇 林启敬 张赟
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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