一种监测振镜转折镜的匀速结构

授权

摘要

本实用新型公开了一种监测振镜转折镜的匀速结构，包括底座，所述底座的顶端右侧固定连接有支撑板A且支撑板A的顶端固定安装有电机，所述电机的顶端安装有滑轨且滑轨的左侧端固定连接有固定架，所述滑轨的左侧端位于固定架的上方滑动连接有滑块且滑块左侧端固定连接有边框，所述固定架的左侧端固定安装有轴承套A且轴承套A的内部转动连接有转轴，本实用新型能很稳定的将遮光镜固定在固定架上，并且通过匀速监控器监控折射镜的速度判定折射镜是否同步，机台不用停产，对产能没有影响，可以节约人力成本，省时省事省力，为公司减少因为刻槽图形异常导致的损失，并且可以减少破片情况的发生。

基本信息

专利标题：

一种监测振镜转折镜的匀速结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021442298.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-21

授权号：

CN212482869U

授权日：

2021-02-05

发明人：

孙德胜李健

申请人：

浙江鸿禧能源股份有限公司

申请人地址：

浙江省嘉兴市平湖市新仓镇广全线联盟段283号

代理机构：

嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

熊亮亮

优先权：

CN202021442298.9

主分类号：

G01M11/02

IPC分类号：

G01M11/02 H01L31/18