本实用新型公开了一种硅片充氮厌氧甩干机，涉及硅片设备技术领域，包括机体，所述机体的顶部固定安装有伺服电机，所述机体顶部远离伺服电机的一端固定连接有氮气装置，所述机体的顶部且位于伺服电机与氮气装置之间转动连接有转动杆，本实用新型的有益效果为：该硅片充氮厌氧甩干机，通过设置有储液箱、储液管以及下渗槽，甩干下来的废液，落到甩干箱内腔的底部，然后通过下渗槽下落至储液管内部，然后液泵通过第二旋转接头将废液吸入至储液箱内部，然后操作人员可以通过废液管取出。可以有效防止废液在装置内部四散，造成硅片受到污染的情况发生，从而提高了硅片的良品率，进而提高了硅片的生产效率。