一种真空镀膜机用机腔衬板
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜机零部件技术领域，且公开了一种真空镀膜机用机腔衬板，包括机腔衬板主体，所述机腔衬板主体的底部固定安装有固定支杆。该真空镀膜机用机腔衬板，整个机腔衬板主体为弧形，当靶材飞溅到机腔衬板主体的时候，弧形的机腔衬板主体有利于汇集在一起，并且在机腔衬板主体的表面安装了防粘隔膜，避免了靶材粘附，此外，在机腔衬板主体的内部安装了加热电网，加热电网能够对机腔衬板主体加温，从而有效的保证机腔衬板主体表面的靶材始终为液体状态，更加利于靶材流动汇集到中部，并从回流管中导出，从而实现了回收靶材的目的，有效的节省了靶材消耗，故此本实用新型提出了一种真空镀膜机用机腔衬板。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机用机腔衬板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021461832.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-23
授权号 ：
CN212894938U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
林仰霖
申请人 ：
福州五诚精密机械有限公司
申请人地址 ：
福建省福州市仓山区盖山镇叶下工业区战备路6号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021461832.0
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/50
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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