本实用新型公开了一种激光光能回收型光刻机，其结构包括下机体、底座、凹槽、蓄电池、充电控制器、操作器、电源线、上机体、可视窗、第一净化装置、流通装置、运作组件、掩模台、物镜、曝光台、微调机构和第二净化装置，所述下机体底端与底座焊接，所述下机体左端设置有凹槽，本实用新型具有以下有益效果，通过在运作组件处的第一壳管、第二壳管和第三壳管内壁分别设置金属片层，而金属片层内壁设置太阳能薄膜电池层，达到了通过加设散射光转电部件以减少电量损耗的有益效果；并且通过在上机体顶端分别设置第一净化装置和第二净化装置，达到了加设多重处理部件以提高抽取空气洁净度的有益效果。