晶圆切割机用冷却装置
授权
摘要
本申请涉及一种晶圆切割机用冷却装置，涉及晶圆切割机用冷却装置的领域，其包括出风管、设于所述出风管内的多个雾化喷头、与每一所述雾化喷头连通的输水管以及设于所述出风管一侧的抽风装置，所述抽风装置包括吸风管以及固接于所述吸风管内的抽风机，所述出风管的端口和所述吸风管的端口正对的设于用于切割晶圆的切割刀具两侧。本申请具有可提高对晶圆的切割品质的效果。
基本信息
专利标题 ：
晶圆切割机用冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021464390.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-22
授权号 ：
CN213320986U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
路玉
申请人 ：
北京旭普科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区上地国际科技创业园2-1703
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
孙铭侦
优先权 ：
CN202021464390.5
主分类号 ：
B28D1/22
IPC分类号 ：
B28D1/22 B28D7/02 B28D7/00 B01D46/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D1/00
不包含在其他类目中的石头或类似石头的材料，例如砖、混凝土的加工；所用的机械、装置、工具
B28D1/22
通过切割，例如切开
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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