本实用新型实施例提供了一种可利用自身热源进行脱氟的磷酸生产系统，属于磷酸生产技术领域。该工艺将常规的硫酸直接加料，改为硫酸与含氟液体（返酸中含有少量氟）雾化混合加料，混合雾滴发热所产生的蒸汽，几乎不与釜中反应液接触，就直接送去吸收塔脱氟；同时闪蒸罐产生的低温蒸汽通过粗磷酸换热装置将粗磷酸加热，提升其温度利于脱氟与闪蒸，同时换热后的低温蒸汽于闪蒸塔中与高温粗磷酸于脱氟填料上逆流接触以提升脱氟效果，闪蒸产生的气体和低温蒸汽脱氟处理后的气体一起由抽真空结构（同时为闪蒸塔和闪蒸罐维持负压）送至吸收塔脱氟。充分利用自身反应产生热源脱氟，提升氟的回收率，同时降低尾气处理压力。