一种合成炉测温结构
授权
摘要
本实用新型涉及半导体材料领域，公开了一种合成炉测温结构，包括设置于堵头上的测温器，测温器位于合成炉内壁与石英管外壁之间，且测温器沿合成炉轴向延伸，测温器的探头与石英管的外壁之间具有间隙，堵头上开设有测温孔，测温器设置于测温孔内。本实用新型能够解决由于在合成炉上打孔造成热量流失，温场紊乱的问题，以提高产品制成率。
基本信息
专利标题 ：
一种合成炉测温结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021467889.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-22
授权号 ：
CN213481565U
授权日 ：
2021-06-18
发明人 ：
许振华罗福敏李勇刘留苏小平
申请人 ：
威科赛乐微电子股份有限公司
申请人地址 ：
重庆市万州区万州经开区高峰园B02
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN202021467889.1
主分类号 ：
G01K1/14
IPC分类号 ：
G01K1/14 G01K1/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K1/14
支撑；固定装置；在特殊位置安装温度计的布置
法律状态
2021-06-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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