用于灌装固体MO源的钢瓶

授权

摘要

本实用新型公开了用于灌装固体MO源的钢瓶，在瓶体内沿竖向设有金属隔板将内腔分隔为进气腔和出气腔，进气腔的容积大于出气腔的容积，瓶体顶部具有MO源灌装口，MO源灌装口与进气腔连通；瓶体顶部连接有进气管和出气管，进气管与进气腔连通，出气管与出气腔连通；金属隔板的上部为实心钢板，下部为金属粉末烧结过滤器。固体MO源储存在连通进气管的腔室这一侧，载气吹入后，带着固体MO源的蒸汽穿过金属粉末烧结过滤器，从出气管吹出；取代传统的插底管通气形式，载气与MO源的接触方式由点接触转变为均相接触，使载气通过固体源的路径变得一致，带出的MO源蒸汽更加稳定；不仅提高固体MO源的使用率，还提高蒸汽的稳定性。

基本信息

专利标题：

用于灌装固体MO源的钢瓶

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021472001.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-23

授权号：

CN212667712U

授权日：

2021-03-09

发明人：

徐耀中任丹丹

申请人：

江苏南大光电材料股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区平胜路67号

代理机构：

江苏圣典律师事务所

代理人：

王玉国

优先权：

CN202021472001.3

主分类号：

B65B1/04

IPC分类号：

B65B1/04 C23C16/18