本实用新型公开了一种PECVD载板清洗机，包括清洗槽、烘干槽、排风装置、行车机构和载板花篮装置，所述清洗槽包括碱洗槽、水洗槽和储液槽，所述碱洗槽和补液槽通过管路连通，所述烘干槽包括加热单元和风机，所述碱洗槽、水洗槽和烘干槽并排设置，所述排风装置设置在所述碱洗槽上方，所述排风装置包括设置在碱洗槽顶部的抽风罩、设置在碱洗槽两侧的排气道、与抽风罩和排气道连通的风管，所述排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在碱洗槽、水洗槽和烘干槽上方，所述载板花篮装置安装在移动架上，所述载板花篮装置由升降电机和花篮组成。本实用新型实现PECVD载板清洗的自动化，代替传统的人工操作，有效提高了清洗效率和清洗质量。