本实用新型公开了一种PSA制氮机富氧废气回收装置，包括有制氮机本体，所述制氮机本体顶端安装有废气导管，且废气导管另一端连接有集气箱，所述集气箱内壁底端固定连接有潜水泵，且潜水泵一侧固定连接有导水管，所述导水管与集气箱嵌合连接，且导水管底端等距嵌合连接有喷淋头，所述集气箱顶端嵌合连接有排气管，且排气管内部安装有监测机构，所述集气箱内部中端安装有过滤机构。本实用新型中，通过废气导管，可以将制氮机本体内的废气导入集气箱，通过潜水泵可以将向内的水送到喷淋头，通过喷淋头可以对废气进行第一次过滤，降低废气中有害的颗粒杂质含量，且喷淋水可循环使用，降低了用水成本。