一种气体输送系统

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摘要

本实用新型公开了一种气体输送系统，涉及气体输送技术领域，其包括气体输送支路，气体输送支路包括依次连接的气体输入段、气体调压段和气体输出段，气体输入段上依次连接有气体输入端口和输入开关阀，气体调压段上依次连接有调压阀和第一压力表，气体输出段上依次连接有输出开关阀和气体输出端口，气体输入段和气体调压段之间连接有惰性气体输入支路，气体调压段与气体输出段之间连接有抽空支路，惰性气体输入支路上依次连接有惰性气体输入端口和吹扫进口阀；抽空支路上依次连接有抽空开关阀和抽空排气部。本实用新型利用惰性气体输入支路和抽空支路对气体调压段进行置换和吹扫作业，进而提高气体调压段中的清洁度，提高输出气体的纯度。

基本信息

专利标题：

一种气体输送系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021514501.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-27

授权号：

CN213272049U

授权日：

2021-05-25

发明人：

任如徐正军

申请人：

上海栎智机电科技有限公司

申请人地址：

上海市奉贤区南桥镇解放东路121号715室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021514501.9

主分类号：

F17D1/02

IPC分类号：

F17D1/02 F17D1/04 F17D1/065 F17D3/01 F17D5/00 F16L41/03 F16L41/16