一种气体加热腔体

授权

摘要

本实用新型公开了一种气体加热腔体，包括圆柱形壳状的腔体外壳，所述腔体外壳的下部设有氮气接口、加热管接口和测温传感器接口，所述腔体外壳的内部设有内圈，所述内圈和腔体外壳之间设有左侧盖板和中间圈，所述左侧盖板与腔体外壳、内圈的左侧端面相平，所述中间圈位于腔体外壳的中部且与内圈右侧的轴肩处相贴合，所述内圈的外周套设有成螺旋状的加热管，所述加热管的电源线穿过加热管接口后导出至腔体外壳的外部，所述内圈的左侧焊接有出气接口，所述内圈的右侧设有进气接口。本实用新型能够对废气进行加热，提高废气处理效率。

基本信息

专利标题：

一种气体加热腔体

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021515680.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-28

授权号：

CN213160076U

授权日：

2021-05-11

发明人：

崔汉博崔汉宽

申请人：

绍兴市高笙半导体科技有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市越城区皋埠镇银洲路16号1号车间106室

代理机构：

绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

桑杨

优先权：

CN202021515680.8

主分类号：

B01D53/00

IPC分类号：

B01D53/00