一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器
授权
摘要
本实用新型提供了一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器，其包括含有谐振腔的微环波导和直波导耦合构成，所述微环波导为周期小于光波长的亚波长光栅微环结构，所述直波导为周期小于光波长的亚波长光栅波导结构。本实用新型技术方案的亚波长光栅微环传感器，具有高灵敏度、高通量、以及低噪声的特性，折射率灵敏度超过500 nm/RIU，表面灵敏度可达1 nm/nm，并且可通过对称性缺失形成自参考测量，实现单分子检测。同时，该传感器的制作工艺与半导体器件工艺可以兼容，因而可在芯片上集成多个传感器，从而实现高通量、低成本的检测。
基本信息
专利标题 ：
一种基于模式分裂的亚波长光栅微环传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021517728.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-28
授权号 ：
CN212964621U
授权日 ：
2021-04-13
发明人 ：
徐小川李婉欣陈佳欣孙云旭
申请人 ：
哈尔滨工业大学（深圳）
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区
代理机构 ：
深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黎健任
优先权 ：
CN202021517728.9
主分类号 ：
G01N21/41
IPC分类号 ：
G01N21/41 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/41
折射率；影响相位的性质，例如光程长度
法律状态
2021-04-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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