本实用新型公开了一种用于晶圆清洗机的自动翻盖装置，包括盖体、运动机构、锁止机构和清洗机箱体，所述盖体为圆弧状设置在清洗机箱体的顶端，所述盖体的内壁下方设置有一对锁扣，所述运动机构包括第一气缸、第一连杆、第二连杆和底座，所述第一连杆的一端固定安装在所述固定座上。本实用新型结构简单，通过设置第一气缸带动第一连杆和第二连杆运动，拉动盖体翻转，实现自动翻盖动作，通过设置第二气缸和锁扣，气缸的伸缩运动实现盖体与清洗机箱体的自动锁定和分离，使用方便，减小了工作人员的劳动强度，提高了生产效率。