上电极拆装辅助设备
授权
摘要
本申请提供一种上电极拆装辅助设备，涉及半导体技术领域。本申请通过伸缩件连接支撑支架与固定件，以通过该伸缩件调节支撑支架与固定件之间的间距，而后通过将第一承载板和第二承载板分别与固定件滑动连接，并将第一承载板的承载表面与第二承载板的承载表面设置在同一水平面内，使第一承载板的承载表面与第二承载板的承载表面共同形成承载平面以承载待拆装上电极，从而实现在上电极拆装过程中对不同尺寸和/或不同安装高度的上电极进行承载的功能，防止上电极在拆装时突然掉落，减少拆装人员数目，降低拆装难度，提升拆装效率，并降低出现人员安全事故和器件人为损伤的出现概率。
基本信息
专利标题 ：
上电极拆装辅助设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021526297.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-28
授权号 ：
CN212257345U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
李永畴
申请人 ：
泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张磊
优先权 ：
CN202021526297.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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