一种应用于光源检测的硅片自动传送设备
授权
摘要

本实用新型涉及一种应用于光源检测的硅片自动传送设备,包括机架、工作台、硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构;工作台固定安装在机架的上端面,硅片传送机构固定安装在工作台的上表面;光源检测机构架设在硅片传送机构的输入端;分拣剔除机构架设在硅片传送机构的输出端;其中,硅片传送机构包括传送架、若干同步轮和皮带;传送架固定设置工作台的上表面,各同步轮转动连接在传送架的内侧壁,皮带套设在各同步轮上。本实用新型通过将硅片传送机构、光源检测机构和分拣剔除机构高度集成,实现硅片的自动、高效、准确地分选,有效地提高硅片检测分选的产能,保证硅片根据参数进行精准分选并且降低误检率等优点。

基本信息
专利标题 :
一种应用于光源检测的硅片自动传送设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021528000.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-28
授权号 :
CN213161982U
授权日 :
2021-05-11
发明人 :
李小明刘晓云李斌
申请人 :
东莞敏威光电科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城街道主山东城南路39号美居中心A6栋308-312
代理机构 :
东莞市科凯伟成知识产权代理有限公司
代理人 :
王宇聪
优先权 :
CN202021528000.6
主分类号 :
B07C5/36
IPC分类号 :
B07C5/36  B07C5/38  B07C5/02  G01N21/89  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B07
将固体从固体中分离;分选
B07C
邮件分拣;单件物品的分选,或适于一件一件地分选的散装材料的分选,如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选,例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制;用手动装置,例如开关,来分选
B07C5/36
以其分配方式为特征的分选装置
法律状态
2021-05-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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