本实用新型提供了一种气体热式质量流量计，涉及气体流量测量领域，为解决现有气体热式质量流量计在使用过程中当校准气体和测量气体不一致时受气体组分影响而导致测量精度偏差的问题而设计。该气体热式质量流量计包括流量计主体、MEMS传感元件和控制模块，流量计主体具有供气体流动的气流通道，MEMS传感元件安装于流量计主体，且MEMS传感元件的探测部伸入气流通道，探测部包括质量流量传感器，MEMS传感元件还包括热物性传感器，热物性传感器包括两个热敏元件，一个热敏元件被配置为与被测量的气体接触；质量流量传感器和热物性传感器均与控制模块电连接。本实用新型提供的气体热式质量流量计能够实现与气体组分无关的测量。