一种用于上芯设备运动部位的真空软管
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于上芯设备运动部位的真空软管，该真空软管设计为螺旋状，使得在生产使用过程中可以伸缩，在不适用时，处于悬空状态，不会和晶圆接触，划伤晶圆。本实用新型的螺旋状真空软管，长时间作业过程中因其能自动收缩，无需精确确定其长度，位置固定无松动，使用过程中，真空软管无需在二次固定，杜绝晶圆沾污、划伤和蹭歪产品。降低了生产过程中的质量风险，提高了作业效率、节约改造成本，通过改装设备实现了保质保量的生产。操作使用方便，安装完成后，软管无需再固定。因其减少了与设备内部其余部件的摩擦，使用寿命大幅增长。安装完成后，软管无需再固定。
基本信息
专利标题 ：
一种用于上芯设备运动部位的真空软管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021535698.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN212542391U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
石军强
申请人 ：
华天科技（西安）有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市经济技术开发区凤城五路105号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
马贵香
优先权 ：
CN202021535698.4
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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