本实用新型公开了一种三坐标测量机接触式探头，具体涉及三坐标测量机领域，包括探头外壳，所述探头外壳底部设有测量机构和测球，且测球位于测量机构底部，所述测量机构包括连接杆、连接片和传感器靶片，所述传感器靶片活动连接于连接杆与连接片之间，所述连接杆与测球之间固定连接，所述连接片远离传感器靶片的一端固定设有固定片，且固定片与探头外壳底部固定连接，所述传感器靶片顶部固定设有电容传感器。本实用新型通过设置测量机构，可使三坐标测量机的测量分辨率达3nm，量程达20μm，提高了三坐标测量机的精度，可用来测量非接触式探头所不能测量或测不准的具有斜面、台阶、深孔、倒角、圆弧、透明体等特征的工件。