一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置，包括：桶式基座，用于装载硅片；同心度监控装置，用于实时监控桶式基座旋转同心度是否为允许范围，如旋转同心度偏差超出了允许范围即报警。本实用新型可解决桶式基座旋转同心度的量化监控和及时控制，防范了因基座旋转同心度变化导致硅片厚度均匀性异常报废。
基本信息
专利标题 ：
一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021552729.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
CN212659531U
授权日 ：
2021-03-05
发明人 ：
肖健任凯肖战武黄健
申请人 ：
南京国盛电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁经济技术开发区正方中路166号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
张弛
优先权 ：
CN202021552729.7
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-03-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212659531U.PDF
PDF下载
