一种多晶硅生产工艺中氢气纯化装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多晶硅生产工艺中氢气纯化装置，属于多晶硅生产技术领域，包括4个吸附塔，吸附塔下方设置有第一进出气口，第一进出气口分别与原料进管、第一循环管线、热氢出管和第二循环管线相连，第一循环管线与第二循环管线的连接处设置有冷却器，吸附塔上方设置有第二气体进出口，第二气体进出口分别与热氢进管、产品出管和第三循环管线相连。本实用新型具有再生性能好、热量利用率高、产品纯度高和运营成本低等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种多晶硅生产工艺中氢气纯化装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021559331.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-31
授权号 ：
CN213314181U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
杨楠李寿琴贾琳蔚陈绍林
申请人 ：
云南通威高纯晶硅有限公司
申请人地址 ：
云南省保山市工贸园区昌宁园中园
代理机构 ：
成都天嘉专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵丽
优先权 ：
CN202021559331.6
主分类号 ：
B01D53/04
IPC分类号 ：
B01D53/04 B01J20/34 C01B3/56
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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