本实用新型公开了一种低温等离子体气体净化装置，包括方形的箱体、位于箱体下端的进气口、以及位于箱体上端的出气口。还包括设置在箱体内的上下两组电极，且每组电极沿着水平面方向等间隔设置多个，两组电极分别电性连接高压电源的正极和负极，每组电极内留有相同的间隙以使低温气体均匀流动，还包括给电极通电和固定的固定机构。气体经进气口进入，经上下两组电极电离后，从出气口排出，这里低温气体，先进入下侧电极，电极之间有缝隙，这样，低温气体分散到缝隙之间，然后向上流动，流到与上侧的电极之间，被电离，经上侧电极之间的缝隙，流到出气口，这样气体被分散，不会集中，电离面积大，也更均匀，提高了电离和分解效果。