真空除静电系统

授权

摘要

本实用新型提供了一种真空除静电系统，用于消除真空作业腔室中的静电，其包括除静电装置，与真空作业腔室密封连接，所述除静电装置包括真空光源，所述真空光源产生的光线直接照射所述真空作业腔室内并在其中生成离子；自动遮挡装置，与真空作业腔室密封连接，所述自动遮挡装置包括遮光部及驱动机构，所述遮光部设于光线形成的光路上，所述驱动机构自动控制所述遮光部将光路打开或关闭。如此设置，可以自动根据产品位置选择打开或关闭所述遮光部，防止除静电的光线直接照射产品的表面造成损伤。

基本信息

专利标题：

真空除静电系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021575327.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-03

授权号：

CN212381448U

授权日：

2021-01-19

发明人：

史延锋史延库

申请人：

苏州盟萤电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市周市镇康庄路148号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021575327.9

主分类号：

H05F3/04

IPC分类号：

H05F3/04