一种真空镀膜机可拆卸PlASMA电极
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摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，包括电极本体，所述电极本体上开设有环形槽，所述环形槽内滑动连接有环形板，所述环形板的外侧壁固定安装有套管，所述电极本体上开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均设有阻挡机构，两个所述阻挡机构均延伸至环形槽内并与相对的环形板地底部相抵，所述套管的侧壁设有密封机构，所述密封机构与套管的侧壁之间设有吸附机构，所述套管的侧壁固定安装有安装框，所述安装框上设有卡紧机构，所述卡紧机构贯穿密封机构并与套管的侧壁相抵紧。本实用新型结构设计合理，其能够在电极不使用时，对电极进行有效地密封保护，避免电极长时间与空气接触导致电极被氧化腐蚀，影响电极的正常使用。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机可拆卸PlASMA电极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021585885.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN212741512U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
崔学刚方杏花崔亮
申请人 ：
深圳市鑫科达自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市光明区公明街道西田社区第一工业区A8栋302
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021585885.3
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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