一种基于MEMS的间隙波导传输线

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摘要

本实用新型公开了一种基于MEMS的间隙波导传输线，包括上层板和下层板，上层板为经过电镀处理的平整硅片结构，经过电镀处理的平整硅片具有理想电导体的功能；下层板，设置于上层板下方，包括周期性设置于下层板上方的柱体，柱体为设置于下层板上方的周期性柱状结构，柱状结构表面经过电镀处理。本实用新型所述装置传输线结构为双层结构，采用间隙波导技术，两层结构之间不需要严格的电接触，降低了对于加工组装的精度要求。所设计的传输线结构传输介质为空气，具有传输损耗低的优点。使用MEMS工艺进行传输线结构的加工制作，加工精度高，通过电镀工艺实现金属的功能，减少了金属的用量，减轻了结构的重量，实现了轻量化。

基本信息

专利标题：

一种基于MEMS的间隙波导传输线

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021592225.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-04

授权号：

CN213026437U

授权日：

2021-04-20

发明人：

王昊王岩徐达龙权双龙徐文文

申请人：

南京理工雷鹰电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省南京市秦淮区光华路129-3南京理工科技园A2幢808室

代理机构：

南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

刘小莉

优先权：

CN202021592225.8

主分类号：

H01P3/12

IPC分类号：

H01P3/12