层叠式预热腔
授权
摘要
本实用新型提供层叠式预热腔。所述层叠式预热腔包括:第一层预热子腔,其包括用于承载第一托盘的第一承载件以及分别设置在第一层预热子腔的顶部和底部的第一组红外加热器和第二组红外加热器;以及第二层预热子腔,其层叠在第一层预热子腔上,且包括用于承载第二托盘的第二承载件以及分别设置在第二层预热子腔的顶部和底部的第三组红外加热器和第四组红外加热器;其中第一组红外加热器和第三组红外加热器的波长为(大于2μm)~3μm,第二组红外加热器和第四组红外加热器的波长为1.2μm~2μm。本实用新型能有效改善预热腔的加热能力,缩短托盘预热时间,降低对硅片表面薄膜的热损伤,提高设备产能。
基本信息
专利标题 :
层叠式预热腔
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021596860.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-05
授权号 :
CN213013088U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
马哲国杨华新董家伟王慧慧耿茜
申请人 :
上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021596860.3
主分类号 :
C23C16/46
IPC分类号 :
C23C16/46 C23C16/458 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载