一种网版清洗机二流清洗系统
授权
摘要
本实用新型提供一种网版清洗机二流清洗系统，属于自动化机械设备技术领域。本实用新型包括供气系统、供水系统以及二流体喷嘴，供气系统通过供气管道与二流体喷嘴的供气口相连接，供气管道中设置有CDA过滤器，供水系统通过供水管道与二流体喷嘴的供水口相连接，供水管道中设置有DIW过滤器，本实用新型采用了二流体喷嘴进行水洗清洁，由于二流体是水和气组成，水在气体压力的作用下，产生水雾，水雾颗粒大小在15u‑30u直径，可以轻易穿过掩膜版的网眼，有效地清洁了掩膜版，去除网眼中的颗粒物。
基本信息
专利标题 ：
一种网版清洗机二流清洗系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021598751.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN215745059U
授权日 ：
2022-02-08
发明人 ：
王慧春刘春新
申请人 ：
上海至凡机电科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区浦东新区南汇新城镇芦潮港路1758号1幢8679室
代理机构 ：
上海谱璟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈敏
优先权 ：
CN202021598751.5
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00 H01L51/56
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-02-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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