一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具，包括底座、上托架、支撑螺杆和中间支座，所述上托架通过连接螺杆固定在底座上方，底座上表面设有凹槽，凹槽内设有支撑螺杆，支撑螺杆一端连接凹槽侧壁，另一端连接凹槽中心位置的中间支座，中间支座上还设有矩形弹簧，将本治具装配预紧完成，然后将Dome从上托架口放入治具内至Dome下端接触矩形弹簧，调整Dome的下环面至上托架的装配槽口内，然后在将双手从上托架1上的两个抓取槽中拿出来，这样Dome就被平稳的固定在治具内完成下一步的清洗作业和周转运输。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021601090.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-05
授权号 ：
CN212665835U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
周毅张正伟
申请人 ：
安徽富乐德科技发展股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省铜陵市金桥经济开发区
代理机构 ：
铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
李坤
优先权 ：
CN202021601090.7
主分类号 ：
B24C9/00
IPC分类号 ：
B24C9/00 B24C1/08 B24B41/06 B24B27/033
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24C
磨料或微粒材料的喷射
B24C9/00
磨料喷射机或装置的附件，如工作室，用过的磨料的处理装置
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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