一种辅助标尺工具
授权
摘要
本实用新型提供一种辅助标尺工具，用于硅片切割时辅助测量，该辅助标尺工具包括：刻度板，所述刻度板为透明板，所述刻度板相邻两条边上设有刻度值且所述刻度板表面交错分布有与所述刻度值相对应的刻度线以构成刻度格。根据本实用新型实施例的辅助标尺工具，透过透明刻度板上的刻度线和刻度格观看硅片异常区域，对硅片异常区域进行网格化分析，使观测结果更精确，设置工艺参数更准确。
基本信息
专利标题 ：
一种辅助标尺工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021613684.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-06
授权号 ：
CN213090633U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
王辉崔硕浩李永峰
申请人 ：
宁晋松宫电子材料有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市宁晋县晶龙大街279号
代理机构 ：
上海华诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐颖聪
优先权 ：
CN202021613684.X
主分类号 ：
G01B5/02
IPC分类号 ：
G01B5/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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