本实用新型涉及一种半开式循环水回水集水箱，属于化学气相沉积炉技术领域，装置包括集水箱主体，集水箱主体为倒置梯形结构，集水箱主体顶部连接有回水管路，回水管路的数量为至少两个，回水管路一端连接至集水箱主体顶部，另一端连接至沉积炉各降温点，集水箱主体底部连接有排水管道，排水管道用于将循环水排至冷却降温系统，排水管道端部设有过滤器，过滤器用于过滤掉自沉积炉内随循环水排除的杂质。本申请结构能够集中观察循环水出水情况，并对回水进行一定过滤保证回水无污染，提高冷却设备的寿命，同时监测循环水出水温度、流量，出现异常自动报警并停止加热，确保沉积炉冷却效果良好，同时杜绝设备损坏情况。