本实用新型提出了一种氮气加热板，包括防护外壳，所述防护外壳内设有叠置的两个定位板体，所述定位板体表面设有连续的S形通气槽，两个所述定位板体的S形通气槽形成气路，所述S形通气槽之间设有若干加热棒槽，所述加热棒槽内设有加热棒，所述加热棒伸于所述防护外壳端部，所述防护外壳与所述定位板体之间设有隔热机构，通过在板体内直接开通气槽形成气路，大大降低制造难度，并且设置了隔热机构，在加热过程中能够有效将热量集中在定位板体处，保证对氮气加热的高效性，此外设置成板形的结构，减小了整体体积，能够适用于安装在晶圆干燥设备上，结构简洁易加工。