晶圆切割冷却水循环设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆切割冷却水循环设备,其包括:蒸发器水箱，所述蒸发器水箱分别连通有第一管道、第二管道和第三管道；水由所述第一管道输入，并经过蒸发器水箱后进入第二管道；晶圆切割机主轴，所述第二管道经过所述晶圆切割机主轴后与所述第三管道循环导通，形成对晶圆切割机主轴的循环冷却水；在所述第二管道装有电动调节阀和供水温度传感器，在所述第三管道上装有回水温度传感器，所述电动调节阀、供水温度传感器和回水温度传感器均电连接在一主控制器上。本实用新型可以精确控制晶圆切割机主轴的温度变化在±1℃左右，保证了切割精度。
基本信息
专利标题 ：
晶圆切割冷却水循环设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021652767.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN213137364U
授权日 ：
2021-05-07
发明人 ：
于明涛章圣武杨洋原宗庆
申请人 ：
威海银创微电子技术有限公司
申请人地址 ：
山东省威海市环翠区嵩山路106-3号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021652767.X
主分类号 ：
B28D7/02
IPC分类号 ：
B28D7/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
B28D7/02
用于清除或消除灰尘的，例如通过喷射液体；用于冷却工件的
法律状态
2021-05-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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