晶圆切割设备漏水自动检测报警系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其包括:监测系统，其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器，所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上，所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置，一旦检测到液体，所述湿度传感器发送出漏水信号；控制系统，其包含电源和与电源电连接的控制器，所述控制器接收所述湿度传感器发送出的漏水信号；报警系统，控制器接收到漏水信号后控制所述报警系统报警。本实用新型解决了现有晶圆切割设备漏水，人工难以检测发现，造成电控部分进水短路的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
晶圆切割设备漏水自动检测报警系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021652769.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN212845987U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
于明涛章圣武杨洋原宗庆
申请人 ：
威海银创微电子技术有限公司
申请人地址 ：
山东省威海市环翠区嵩山路106-3号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021652769.9
主分类号 ：
G01V9/00
IPC分类号 ：
G01V9/00 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01V
地球物理；重力测量；物质或物体的探测；示踪物
G01V9/00
用G01V1/00至G01V8/00各组不包括的方法勘探或探测
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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