密封性在线检测装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种密封性在线检测装置。所述密封性在线检测装置用于检测待测元件的密封性，其包括：盖板、测量装置和密封件，所述待测元件设于所述盖板和所述密封件之间；所述盖板设于所述待测元件的上表面，所述盖板设有凹槽，所述凹槽与所述待测元件形成一腔体；所述盖板设有至少一进气口，所述进气口与所述腔体相通；所述测量装置通过一气体通道与所述进气口相连，用于检测所述腔体的气压或气体流量；所述密封件设于所述待测元件的下表面边缘。本实用新型能有效检测单面密封的元件的密封性，避免元件因密封不严密造成浪费和损失。

基本信息

专利标题：

密封性在线检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021665985.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-11

授权号：

CN212363589U

授权日：

2021-01-15

发明人：

史蒂文·贺·汪

申请人：

新阳硅密（上海）半导体技术有限公司

申请人地址：

上海市松江区思贤路3600号

代理机构：

上海弼兴律师事务所

代理人：

王卫彬

优先权：

CN202021665985.7

主分类号：

G01M3/26

IPC分类号：

G01M3/26