N型parylene真空涂覆设备
授权
摘要
本实用新型公开了N型parylene真空涂覆设备，包括角度调节装置，所述角度调节装置中安装有角度盘，所述角度盘的内部转动安装有转动盘，所述转动盘的一端固定连接有指示杆，所述转动盘的外端面固定安装有转动杆，所述转动杆的前端固定安装有旋拧手轮，所述角度盘远离旋拧手轮的端面固定安装有固定盘，所述固定盘上均匀开设有固定安装孔，所述固定盘的中部贯穿转动安装有连接杆，所述连接杆上对称固定安装有固定板，所述固定板的两端均对称螺纹转动插接有紧固螺栓。本实用新型使用过程中可以通过改变隔挡板的角度控制和调节来控制气态活性单体的输送方向，有效的避免了活性单体与常温沉积室的内壁接触沉积，从而使得需要镀膜的物件外表面镀膜均匀快速。
基本信息
专利标题 ：
N型parylene真空涂覆设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021690716.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-14
授权号 ：
CN213255463U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
浦招前
申请人 ：
苏州派华纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路2008号5号楼3层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021690716.6
主分类号 ：
B05C9/02
IPC分类号 ：
B05C9/02 B05C11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C9/00
把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C1/00至B05C7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9/02
对表面涂布液体或其他流体采用B05C1/00至B05C7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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