本实用新型涉及一种退火炉炉内气体净化回收装置，包括：固体过滤组件，包括喷淋室、进气管与出气管、喷水头及过滤器；各出气管均连接过滤器；喷水头安装于喷淋室顶板的内壁上；进气管与出气管并排设置，喷水头位于进气管与出气管之间；增压泵，增压泵的进气端连接过滤器；及连接增压泵的分离组件；分离组件包括依次相连的冷凝器、气水分离器及吸附干燥器；所述冷凝器远离所述气水分离器的一端用于连接所述增压泵的出气端。上述退火炉炉内气体净化回收装置，结构设计合理，将退火炉炉内气体经过喷淋、过滤、分离干燥后，得到纯净的保护气体，可有效净化回收保护气体，减少对环境的影响，节约制造成本。