介质阻挡放电离子源的气体控温装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种介质阻挡放电离子源的气体控温装置，所述气体控温装置包括用于形成气体通道的第一管；所述第一管设置在第二管的内侧；第一连接件设置在所述第一管和第二管的端部，并具有与所述气体通道连通的第一通孔；测温元件设置在所述第一管的内部；加热件设置在所述第一管上；第二连接件设置在所述第一管和第二管的另一端部，并与所述第二管连接；第三管处于所述第一管和第二管之间，并穿过所述第二连接件的第二通孔；密封件设置在所述第一连接件和第二管之间，以及第二连接件和第二管之间。本实用新型具有气体控温精度高、结构简单、集成度高等优点。

基本信息

专利标题：

介质阻挡放电离子源的气体控温装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021704750.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-15

授权号：

CN212659505U

授权日：

2021-03-05

发明人：

甘剑勤洪欢欢闻路红肖前虎胡淇能

申请人：

宁波华仪宁创智能科技有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市鄞州区学士路655号科信大厦D楼304室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021704750.4

主分类号：

H01J27/02

IPC分类号：

H01J27/02