本实用新型涉及废气处理技术领域，具体公开了一种高效安全性蓄热式催化氧化焚烧装置，包括过滤器、缓冲罐和焚烧炉，过滤器通过管道连接防爆风机，防爆风机通过废气管道连接焚烧炉，焚烧炉底部连接排气管道一，废气管道和排气管道一上均设有浓度监测仪，缓冲罐通过分支管道连接废气管道且缓冲罐一侧的分支管道上设有稀释风阀，焚烧炉内部设有预处理室和燃烧室；本实用新型在现有技术的蓄热式催化氧化焚烧装置结构基础上进行改进，在管道上设置浓度监测仪对废气浓度进行精准的检测，当检测的废气浓度较高时，可打开分支管道上的稀释风阀注入自然空气或者将一部分废气抽取后传输到缓冲罐内部，从而降低废气浓度，达到预防爆炸的高效安全措施。