一种真空排气装置
授权
摘要

本实用新型涉及抽真空技术领域,尤其公开了一种真空排气装置,包括主管道件、干式涡旋泵、检漏仪、分子泵、真空检测仪及多个第一阀体,干式涡旋泵经由分子泵与主管道件连通,主管道件分别经由多个第一阀体与外界的多个排气器件连通;检漏仪分别连通干式涡旋泵及分子泵,真空检测仪用于测量排气器件的真空度,检漏仪用于测量是否漏气;本实用新型的真空排气装置构造简单,使用方便,一次性即可完成多个排气器件的排气抽真空;经由检漏仪的设置,借助第一阀体方便、快速地关闭漏气的排气器件;借助真空检测仪,保证多个排气器件的真空度的准确性及一致性;提升排气器件的抽真空效率及抽真空良率。

基本信息
专利标题 :
一种真空排气装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021744934.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-20
授权号 :
CN212615235U
授权日 :
2021-02-26
发明人 :
杨逑钱锋
申请人 :
东莞市德派精密机械有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城街道东城科技工业园东科路38号硅谷动力2025科技园A9栋2楼
代理机构 :
东莞科言知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
何树良
优先权 :
CN202021744934.3
主分类号 :
F04B37/14
IPC分类号 :
F04B37/14  F04B41/06  F04B51/00  F04B39/10  F24H7/00  F24H9/02  F24H9/20  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
F04B37/14
获得高真空
法律状态
2021-02-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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