一种晶圆测试辅助设备
授权
摘要

本实用新型公开了一种晶圆测试辅助设备,包括PCB控制板,所述PCB控制板的两侧均焊接有挡板,所述PCB控制板的两侧位于挡板的内侧均焊接有树脂垫,所述PCB控制板的下表面焊接有探针,所述PCB控制板的内部开设有贯穿的焊接头,所述PCB控制板的两侧均开设有固定板;本实用通过设置的PCB控制板及其相匹配的辅助结构,能够在进行使用时,针对PCB板的两侧进行双面的探针安装,可进行双面同时检测,此外在进行操作时,外侧的晶圆固定盘也为双面的固定结构,完成循环的双面检测结构,具备一定的有益效果,较之现有的结构更加实用。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆测试辅助设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021749818.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-20
授权号 :
CN213122197U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
李锦光
申请人 :
广东全芯半导体有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区南山路一号中集智谷4号楼C户
代理机构 :
深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杜立光
优先权 :
CN202021749818.0
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28  G01R1/04  G01R1/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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