一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置
授权
摘要
本实用新型属于ICP技术领域,公开了一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置,包括氩气管,所述氩气管内设置有压缩氩气,所述氩气管上依次设置有减压阀和质量流量控制器,所述质量流量控制器位于减压阀的出气端。本方案通过在氩气管上安装质量流量控制器,从而质量流量控制器实时监测氩气管内的压缩氩气的流量,并将检测的气流数据反馈给ICP主控系统的上位机软件,同时ICP主控系统的上位机软件将设置的气流电压信号发送给气流保护系统,气流保护系统对比反馈数据和设置数据,如果差值超出安全阈值的范围,将直接发送指令关闭ICP设备的供电设备,避免由于气体在使用完毕或者气流不稳定的情况下影响测试数据,甚至损坏ICP设备。
基本信息
专利标题 :
一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021750956.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-20
授权号 :
CN213207289U
授权日 :
2021-05-14
发明人 :
吴海荣
申请人 :
苏州普业仪器有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市巴城镇城北西路555号7号楼4楼
代理机构 :
深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈映辉
优先权 :
CN202021750956.0
主分类号 :
F17D3/01
IPC分类号 :
F17D3/01
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统;管路
F17D
管道系统;管路
F17D3/00
观测或控制工序的装置
F17D3/01
用于控制、指示或观测产品的输送
法律状态
2021-05-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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