扫描电子显微镜高压部树脂真空灌装装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种扫描电子显微镜高压部树脂真空灌装装置，包括真空腔体、盖板以及用于连接真空泵的三通，盖板与真空腔体上端面法兰密封固连，三通固定于盖板上，所述的真空腔体内设有限位套筒，填充好环氧树脂的电镜高压部置于限位套筒内。本实用新型能够进行扫描电镜高压部的环氧树脂快速灌装，且性能稳定、装卸方便、寿命可靠；与传统真空灌装设备相比，本装置结构简单可靠，方便装卸，可在多场合下进行使用，灌装效率高，灌装质量好。

基本信息

专利标题：

扫描电子显微镜高压部树脂真空灌装装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021755490.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-20

授权号：

CN213260644U

授权日：

2021-05-25

发明人：

杨钢戴晓鹏赫松龄张伟贺羽

申请人：

无锡量子感知研究所

申请人地址：

江苏省无锡市惠山区惠山城铁站区站前路2号

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

王美华

优先权：

CN202021755490.3

主分类号：

B29C39/02

IPC分类号：

B29C39/02 B29C39/42 B29C39/22