一种用于CVD炉隔绝碳毡粉尘、颗粒的防护罩
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于CVD炉隔绝碳毡粉尘、颗粒的防护罩，包括防护罩主体，防护罩主体为一端封闭另一端开口的圆筒结构，防护罩主体的封闭端中心设置圆形贯通孔，防护罩主体的封闭端的下表面沿着贯通孔设置有凹槽，所述的防护罩主体的顶部设置把手。本实用新型整体套装在CVD炉的反应腔上，防护罩底端直接接触反应腔底部，实现完全笼罩，使炉体内壁与大套筒之间空隙完全封闭，全面解决炉体内壁与大套筒之间空隙导致的粉尘、碳毡颗粒进入反应腔内的现状，使腔室内气体与碳毡内部隔绝，提高产品的稳定性，并通过防护罩隔离碳毡腔内粉尘、碳毡颗粒进入反应腔内，改善腔室内洁清环境。
基本信息
专利标题 ：
一种用于CVD炉隔绝碳毡粉尘、颗粒的防护罩
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021757973.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-21
授权号 ：
CN213203188U
授权日 ：
2021-05-14
发明人 ：
刘汝强王殿春郭世峰窦松德周清波
申请人 ：
山东国晶新材料有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市禹城市南环东路88号
代理机构 ：
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
王素平
优先权 ：
CN202021757973.7
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-05-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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