换热装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种换热装置,涉及单晶硅加工设备技术领域,主要目的是提供一种能够适应热场的尺寸变化的换热装置。本实用新型的主要技术方案为:一种换热装置,包括:支撑部件,支撑部件包括支撑环和多个支撑架,多个支撑架均匀设置在支撑环的周围,并且固定连接于支撑环;换热部件,换热部件包括水冷屏、进水管、排水管和连接盘管,水冷屏设置在支撑环的上部,进水管的一端连接于水冷屏,另一端连接于连接盘管,排水管的一端连接于水冷屏,另一端连接于连接盘管,连接盘管固定连接于每个支撑架本实用新型主要用于对单晶炉进行降温。

基本信息
专利标题 :
换热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021782403.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-24
授权号 :
CN212895074U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
李闻博马伟萍乔乐张鹏张创刘学金杨佳辉武晓峰
申请人 :
新疆晶科能源有限公司
申请人地址 :
新疆维吾尔自治区伊犁哈萨克自治州新源县北工业园区A区
代理机构 :
北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孟阿妮
优先权 :
CN202021782403.3
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00  C30B29/06  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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