抽空管道在线自清洁装置
授权
摘要
本实用新型提供一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构。本实用新型能够在硅单晶炉正常运行状态下，驱动减速电机，带动搅拌清洁装置旋转，切割搅拌附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，使所述杂质或挥发物脱离所述真空抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，所述杂质或挥发物流向过滤器和真空泵组、远离真空炉室，起到在线自清洁的作用。
基本信息
专利标题 ：
抽空管道在线自清洁装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021782664.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-24
授权号 ：
CN212533203U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
曹玉宝尹嘉琦王学卫徐永胜王明升
申请人 ：
连城凯克斯科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
代理机构 ：
大连东方专利代理有限责任公司
代理人 ：
李洪福
优先权 ：
CN202021782664.5
主分类号 ：
C30B29/06
IPC分类号 ：
C30B29/06 C30B35/00 B08B9/051 F04B39/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
硅
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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