一种臭氧气氛炉
授权
摘要
本实用新型提供了一种臭氧气氛炉，所述的臭氧气氛炉包括加热模块和石英管，加热模块用于对石英管进行加热；石英管的进口端外接臭氧发生模块，臭氧发生模块用于向石英管输送臭氧；石英管的出口端设置有臭氧分解模块。臭氧发生模块通过进口管路与石英管连接；进口管路上还外接有气体稀释模块，气体稀释模块用于调节进入炉膛的臭氧体积浓度；还包括温度控制模块、与调节阀电性连接的浓度控制模块以及与浓度控制模块电性连接的检测模块。通过臭氧的加入，可以降低去除有机物质的煅烧温度，并保留更多的孔道结构，去除模板剂后，将残留在石英管中的臭氧分解，避免对环境和人体产生危害。
基本信息
专利标题 ：
一种臭氧气氛炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021798000.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN213222108U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
陈运法韩宁刘海弟
申请人 ：
中国科学院过程工程研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村北二条1号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
巩克栋
优先权 ：
CN202021798000.8
主分类号 ：
B01J19/00
IPC分类号 ：
B01J19/00 B01D53/86 B01D53/66 F27D7/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J19/00
化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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